氧化鋯（ZrO2）靶材
編碼
材料
分子式
純度(%)
密度(g/cm3)
形狀與尺寸
交貨期
SI-06
氧化鋯
ZrO2
99.9
5.56
圓片 Φ18~30x7~18mm
3 周
SI-07
扇形片
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